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CV-3100S4輪廓測量儀
產品簡介
                  ◆大幅度提高了驅動速度(X軸:80mm/s Z2軸:20mm/s),近一步降低了總測量時間。 
◆為了在一定時段內維持儀器的直線度精度規(guī)格,三豐公司才用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導軌。 
◆大量的外圍設備支持CNC模式,從而可以很容易實現(xiàn)CNC測量。 
◆驅動裝置(X軸)和立拄(Z2軸)中集成了高精度光柵尺(Z2軸為ABS型),從而提高了在垂直方向持續(xù)自動測量小孔和不易定位工件的重復精度。 
◆X軸精度:±(0.8+0.01L)μm Z1軸精度:±(0.8+|0.5H|/25)μm *(CV-4100S4、H4、W4),針對高精度工件的測量所設計。 L為驅動長度 H為測量高度 
◆CV-4100系列的驅動裝置集成了Laser Hologage檢位器,在Z軸(垂直方向)的窄/寬測量范圍內,提供的精度和分辨率。
X軸  | 
  | 
測量范圍  | 100mm  | 
分辨率  | 0.05um  | 
檢測方法  | 反射型線性編碼器  | 
驅動速度  | 80mm/s和手動  | 
測量速度  | 0.02-5mm/s  | 
移動方向  | 向前/向后  | 
直線度  | 0.8um/100mm,2um/200mm *當X軸在水平方向上  | 
指示精度 (20°C時)  | ± (1+0.01L)um *L為驅動長度(mm)  | 
傾斜范圍  | ±45°  | 
  | |
Z2軸(立柱)  | 
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垂直行程  | 300mm  | 
分辨率  | 1um  | 
檢測方法  | ABSOLUTE線性編碼器  | 
驅動速度  | 0-20mm/s和手動  | 
  | |
Z1軸(檢測器)  | 
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測量范圍  | ±25mm  | 
分辨率  | 0.2um  | 
檢測方法  | 線性編碼器  | 
指示精度 (20°C時)  | ± (2+|4H|/100)um *H為水平位置上的測量高度(mm)  | 
測針上/下運作  | 弧形運動  | 
測針方向  | 向上/向下  | 
測力  | 30mN  | 
跟蹤角度  | 向上:77°、向下:87°(根據(jù)表面粗糙度,使用標準單切面測針)  | 
測針針尖  | 半徑:25um、硬質合金針尖  | 
電源  | 100-240VAC±10%,50/60Hz  |